ГОСТ 25661-83 - действующий. Установки для финишной очистки воды. Общие технические требования (Installations for final water treatment. General technical requirement) Актуализация текста и описания: 27.10.2010
Введен в действие: 01.01.1984
ГОСТ распространяется на установки финишной очистки воды, предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции |
| Список изменений: | №1 от 01.01.1989 (рег. 29.06.1988) «Срок действия продлен»
|