ГОСТ Р 8.636-2007 - действующий. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки (State system for ensuring the unifоrmity of measuremеnts. Scanning electron microscopes. Methods for calibration) Актуализация текста и описания: 27.10.2010
Введен в действие: 01.08.2008
ГОСТ распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их калибровки с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629 |