ГОСТ Р 8.640-2008 - действующий. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки (State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods)
Актуализация текста и описания: 27.10.2010
Введен в действие: 01.01.2009
ГОСТ распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок |
