ГОСТ 25662-83 - действующий. Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний (Vacuum equipment. Diffusion vacuum pumps. Test methods) Актуализация текста и описания: 27.10.2010
Введен в действие: 01.01.1984
ГОСТ распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций |
| Список изменений: | №1 от 01.10.1984 (рег. 29.04.1984) «Срок действия продлен» №2 от 01.01.1989 (рег. 03.11.1988) «Поправка»
|