ГОСТ 26239.8-84 - действующий. Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination)
Актуализация текста и описания: 27.10.2010
Введен в действие: 01.01.1986
ГОСТ устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом |
| | Список изменений: | №1 от 01.01.1991 (рег. 26.06.1990) «Срок действия продлен»
|
