ГОСТ 26239.0-84 - действующий. Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа (Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. General requirements for methods of analysis) Актуализация текста и описания: 27.10.2010
Введен в действие: 01.01.1986
ГОСТ устанавливает общие требования к методам анализа полупроводникового кремния, исходных продуктов для его получения ( технический кремний, четыреххлористый кремний, хлорсиланы, двуокись кремния) и кварца |