ГОСТ Р 8.631-2007 - действующий. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки (State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron measuring microscopes. Methods for verification)
Актуализация текста и описания: 27.10.2010
Введен в действие: 01.02.2008
ГОСТ распространяется на измерительные растровые электронные микроскопы (РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.
Межповерочный интервал РЭМ - 6 мес. |
| | Список изменений: | №1 от 01.04.2011 (рег. 12.11.2010) «Поправка»
|
