ГОСТ 8.605-2011. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов
ГОСТ 8.605-2011 принят. Название: Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов. State system for ensuring the uniformity of measurements. State verification schedule for means of measuring of the ellipsometric angles. Текст ГОСТ'а проверен: 01.03.2014 Данный ГОСТ распространяется на государственную поверочную схему для средств измерений эллипсометрических углов Дельта и Пси - разность фаз между двумя ортогональными р- и s-компонентами вектора напряженности электрического поля световой волны, отраженной или прошедшей через исследуемый объект, tg Пси - отношение амплитуд р- и s -компонент вектора напряженности электрического поля световой волны) для оптического излучения в видимой области спектра и устанавливает назначение государственного первичного эталона единиц эллипсометрических углов - градуса, комплекс основных средств измерений, входящих в его состав, основные метрологические характеристики эталона и порядок передачи единиц эллипсометрических углов от государственного первичного эталона с помощью рабочих эталонов 1-го и 2-го разрядов рабочим средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов передачи единиц |
