ГОСТ Р 52250-2004 - действующий. Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications) Актуализация текста и описания: 27.10.2010
Введен в действие: 01.01.2005
ГОСТ распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем |