ГОСТ Р 8.635-2007 - действующий. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки (State system for ensuring the unifоrmity of measuremеnts. Atomic-forсe scanning probe microscopes. Method for calibration)
Актуализация текста и описания: 27.10.2010
Введен в действие: 01.08.2008
ГОСТ распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их калибровки с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629 |
