ГОСТ 8.593-2009 - принят. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки (State system for ensuring the uniformity of measurements. Atomic-force scanning probe microscopes. Method for verification)
Актуализация текста и описания: 27.10.2010
Введен в действие: 01.11.2010
ГОСТ распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ 8.592 |
