ГОСТ 8.594-2009 - принят. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки (State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron microscopes. Method for verification) Актуализация текста и описания: 27.10.2010
Введен в действие: 01.11.2010
ГОСТ распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ 8.592 |