ГОСТ Р 8.644-2008 - действующий. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки (State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for calibration) Актуализация текста и описания: 27.10.2010
Введен в действие: 01.06.2009
ГОСТ распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м.
Данный ГОСТ устанавливает методику калибровки рельефных мер |