ГОСТ 26239.1-84 - действующий. Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей (Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Method of impurities determination)
Актуализация текста и описания: 27.10.2010
Введен в действие: 01.01.1986
ГОСТ устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четуреххлористом кремнии и трихлорсилане |
| | Список изменений: | №1 от 01.01.1991 (рег. 26.06.1990) «Срок действия продлен»
|
