[на главную: KlubOK.net :: управление качеством.]
[на главную раздела: Каталог ГОСТ]

дополнительно: [ДСТУ ISO | ГОСТ Р ИСО, МЭК | ISO (ИСО), IEC (МЭК)... | ISO, BS, IEC ]

 

ГОСТ 5.2105-73


Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
ГОСТ 5.2105-73 - действующий. Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции (Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products)
Актуализация текста и описания: 27.10.2010
Введен в действие: 01.09.1973

ГОСТ распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов



менеджмент качества ( процессы | школа качества | нормирование | управление качеством | хассп)
книги: стандарты | качество | ХАССП | маркетинг | торговля


Copyright © 2003-2014 KlubOK.net, Андрей Гарин


Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100