[на главную: KlubOK.net :: управление качеством.]
[на главную раздела: Каталог ГОСТ]

дополнительно: [ДСТУ ISO | ГОСТ Р ИСО, МЭК | ISO (ИСО), IEC (МЭК)... | ISO, BS, IEC ]

 

ГОСТ 25196-82


Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
ГОСТ 25196-82 - действующий. Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования (Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements)
Актуализация текста и описания: 27.10.2010
Введен в действие: 01.07.1983

ГОСТ распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники



менеджмент качества ( процессы | школа качества | нормирование | управление качеством | хассп)
книги: стандарты | качество | ХАССП | маркетинг | торговля


Copyright © 2003-2014 KlubOK.net, Андрей Гарин


Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100