ГОСТ Р 8.627-2007 - действующий. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений (State system for еnsuring the uniformity of measurements. Measurements of coefficients of regular and diffuse transmittance of ultraviolet radiation. Methods for measurements)
Актуализация текста и описания: 27.10.2010
Введен в действие: 01.07.2007
ГОСТ распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике |
